第522章 分辨率10μm(2 / 6)
别的都看不出干啥的,就是那台显微镜贼显眼。
这台显微镜是用来人工对准和检查用的,主要解决套刻时的对准问题。高振东在掩模上设计了对准标志,但是对准这个操作,在这台光刻机上是人工操作,那台显微镜就是用来干这些事情的。
按说这机器高振东来来去去,改来改去也见过不少次了,可以算是老伙计了,但是这次看见,还是心里泛起了一阵激动。
可算是有结果了,这东西在高振东心里已经不是一台设备,而是一股气。
高振东前世,在网上对线多年,对手能喷的东西,从逮着啥就能喷啥,慢慢演变为能喷啥才说啥。
最后干脆成钉子户了,就在那少数几个领域蹲着不走了,任你东南西北风,我自巍然不动,嘴里只是说着“对呀对呀!……光刻机有几种光源,你知道么?”高振东看得愈不耐烦,拿着键盘走远。
走远归走远,这几样东西的确是到他穿越为止,还没完全拿下的,至少是高端的没拿下,光刻机就是其中一种。
他妈的,这辈子老子自己造一个玩玩,有几种光源我不知道,但是我知道这台能用,而且还挺好!
高振东自己也换上防护服,和几名试验人员走进了超净室。
试验人员早就把试验准备做好了,走进来之后,打开了几个开关,然后示意高振东:“高总,可以了。”
高振东拿起专用夹具,从带干燥剂的硅片架里,小心的夹起了一片单晶硅片,放到了工件台上,然后扳动开关,硅片被吸附固定。
这些单晶硅片已经经过清洗、干燥等处理,对光刻胶的附着力此时是
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