第158章 光刻机（2 / 5）

> 他的目光扫过众人，“汞灯发出的光，是一个混合光谱，包含多条特征谱线。其中，”木棍重重点在标注着“g-lie(436)”的位置，“这条波长436纳米的‘g线’，是我们目前最有可能利用的‘刻刀’。它的波长相对较长，对光学系统的精度要求，比更短的i线或深紫外光，要‘宽容’一些。”

石毅的讲解没有停留在空洞的概念上。他拿起一块早已准备好的普通玻璃片和一块系统兑换，边缘做了磨砂处理的石英玻璃样品。

“为什么必须是石英？”他问，同时示意钱师傅上前。“钱师傅，您是老光学，摸摸看，感受一下温度。”

钱师傅疑惑地伸手，刚触碰到普通玻璃片几秒钟，就感到明显的温热。而当他的手放在冰凉的石英玻璃样品上时，过了好一会儿，温度几乎没什么变化。

“石英！”石毅的声音提高，“它对g线乃至更短波长的紫外光，透明性远好于普通玻璃！更关键的是，它的热膨胀系数极低。”

他拿起木棍，模拟光线照射透镜，“汞灯功率巨大，普通玻璃透镜会被加热变形，光线聚焦点就会跑偏、模糊。

就像用烧红的铁片去雕花，怎么可能精准？石英透镜，就是保证我们的‘刻刀’在长时间工作时，刀尖始终稳定、锐利的关键。”

他看向钱师傅，“钱师傅，这透镜的研磨、抛光、检测，是硬骨头，更是命门。有没有信心啃下来？”

钱师傅看着图纸上那近乎苛刻的精度要求（λ/10），又摸了摸手中冰凉的石英样品，一咬牙，脸上的皱纹都绷紧了：“石厂长，只要给俺时间，给俺找最好的研磨料，俺老钱……豁出这双眼，也把它磨出来。”

石毅用力拍了拍他的肩膀，木棍随即移向光学系统中的另一个关键部件——掩膜板固定架和晶圆承片台。“这里，是‘照相’时放‘底片’（掩膜板）和‘相纸’（涂胶晶圆）的地方。精度要求，是这台机器成败的另一个命门。”他的木棍指向图纸上标注着“±0.5μ对准精度”和“平面度lt;1μ”的位置。

“0.5微米？一根头发丝的百分之一？”陈工失声叫道，旁边的赵红军和孙铁蛋脸色更白了。

“对，就是一根头发丝的百分之一。”石毅的声音很是严肃，“图案从掩膜板转移到晶圆上，两层必须严丝合缝，错开一丝，整个电路就废了。

这要求承片台和掩膜板支架在移动、定位时，必须像最精密的钟表，像最稳定的磐石。”他的木棍指向图纸上复杂的丝杠、导轨、弹簧消隙结构、手动微调旋钮的设计图。“这些结构，就是保证‘磐石’不动的筋骨。

红军师傅，铁蛋师傅，你们要做的，就是用最好的钢料，用你们那精炼的手上功夫，把这些零件分毫不差地加工出来，装配起来。每一刀车下去，每一锉磨出来，心里都得想着那根头发丝的百分之一。”

赵红军和孙铁蛋对视一眼，都看到了对方眼中燃烧的火苗和沉重的压力。赵红军猛地一拍胸脯：“厂长，俺们的手艺是厂里练出来的，是给枪炮零件较过劲的

精度就是战士的命这活，俺们接了。做不好，不用厂长开口，俺们自己把吃饭的家伙什砸了。”

石毅的目光扫过一张张或激动、或凝重、或决然的面孔，最后落在那叠厚重的图纸上。

“同志们，”他的声音低沉而有力，“图纸就在这里。它不是天书，是路标。它告诉我们目标在哪里，也告诉了我们路上有哪些沟坎。

我们要做的，就是集合我们所有的智慧、经验和……这双手。”他猛地举起自己的右手，骨节分明，“用最笨的办法，最实的功夫，把这条路，从图纸上，一寸一寸地，凿出来。

这台机