第341章 设备列表(2 / 3)
声波清洗机(ganeter),每一步光刻前后、每一次沉积之前,都需要近乎变态的彻底清洗,否则一颗零点几微米的灰尘落在基板上,未来就是一个致命的亮点或暗点(brightdeadpixe1),直接宣告屏幕报废!”
欧阳谦深吸一口气,努力将话题拉回系统性的叙述:“还有涂胶显影设备(aterdeve1oper):旋转涂胶机(spater)用来均匀涂布光刻胶,其转和加度控制直接影响胶厚均匀性;显影机要保证显影液浓度、温度和喷洒的均匀性,精度要求极高。
最后,没有眼睛的制造就是盲人摸象,检测设备(tro1ogy)绝不能省:高倍率光学显微镜、哪怕一台老旧的扫描电子显微镜(se)也是必须的,用来检查线宽(cd)、套刻精度、剖面形貌和缺陷。
还得有台阶仪或椭偏仪测膜厚,有探针台(probestation)配合参数分析仪测试tft的电学特性(开关比、迁移率、阈值电压)……否则我们根本就是在闭着眼瞎搞,连失败的原因都找不到!”
“我的天爷啊!
这还仅仅是他妈的阵列(array)部分!”
欧阳旭猛地向后一靠,用力挠着自己的头,仿佛想把这一切烦恼都揪出去:“后面还有呢!
成盒(ce11)工艺需要的uv固化机用于固化封框胶、精度要求极高的真空对位贴合机(vaatgae)用来把tft阵列基板和彩膜(cf)基板像夹心饼干一样精准对位压合!
模组(o1e)工艺需要的agae)用来把驱动ic芯片以微米级精度压接到玻璃基板的引脚上、热压机(hotpress)使导电粒子破裂形成连接、精雕机(dicer)或激光切割机把大张玻璃切割成小片、研磨倒角机(grderbeve1er)处理切割后锋利的玻璃边缘……这简直他妈的不是创业,是要在2oo5年的中国,凭空重建一个微电子工业的雏形!
一个简化版的‘面板富士康’!”
清单越列越长,密密麻麻的文字和数字像一座座无形的大山,压得三人几乎喘不过气。
实验室里原本燃烧的激情,仿佛被这冰冷的现实清单浇上了一盆冰水,只剩下滋滋作响的绝望白汽。
这其中的每一台设备,都不仅仅意味着一个名称,其背后是巨量的资金投入、复杂曲折的全球寻源和采购过程、令人头疼的海关通关、以及更令人望而生畏的安装、调试、工艺验证和无休止的维护。
每一关都足以让缺乏资源和经验的团队折戟沉沙。
然而,在整个过程中,明朗的眼神却始终如磐石般坚定。
他静静地听着,大脑飞运转,将兄弟二人的忧虑与自己所知的未来信息相互印证、整合。
他早已料到了这份艰难,并且,在他穿越者的视野里,已经勾勒出了一个绝佳的、跳出常规思维的解决方案。
“设备的问题,一件一件解决。
清单列出来,就好办了一半。
我们可以分优先级,最先保障核心的光刻、沉积、刻蚀设备。
钱,我来想办法。”
明朗的声音沉稳有力,像定海神针般瞬间打破了地下室里略显压抑和绝望的气氛:“至于场地……这个最大的难题,我已经想好了。”
他站起身,走到那扇唯一的、布满灰尘的小窗前,目光仿佛穿透了校园厚重的围墙和喧嚣的城市,投向了记忆中的远方——江州国际联合化工厂那片熟悉的广袤厂区。
“江州国际联合化工,”
他转过身,语气带着一种不容置疑的确定性:“三号仓库区,那边有现成的、至少两千平米挑高过八米的大型空置仓库。
地面是加固的混凝土,承重完全没有问题。
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